模型 | Exa-Ms5 |
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照明系統(tǒng) | 準(zhǔn)分子激光 |
解決 | Φ5微米 |
加工尺寸 | 70x70毫米 |
對位精度 | 3σ < 3.0 微米 |
電路板尺寸(最大) | 510x515毫米 |
簡要描述:全新ORC歐阿希 EXA-MS5準(zhǔn)分子加工設(shè)備它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。
全新ORC歐阿希 EXA-MS5準(zhǔn)分子加工設(shè)備
全新ORC歐阿希 EXA-MS5準(zhǔn)分子加工設(shè)備
它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。
這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量??梢暂p松測量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用(或計(jì)劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。
采用254nm波長, 去除電荷。
單波長允許低溫處理。
用低入射角紫外線有效照射目標(biāo)區(qū)域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
閃存、其他非易失性存儲器、圖像傳感器等的電荷去除和數(shù)據(jù)擦除。
這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量??梢暂p松測量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用(或計(jì)劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。
封裝板 絕緣材料 過孔成型
通過溝槽加工形成電路
微加工性能高,可加工Φ5μm過孔。掩膜設(shè)計(jì)可同時(shí)容納大小過孔、矩形等多種形狀。無論通孔數(shù)量有多少,生產(chǎn)率都是恒定的,并且相同數(shù)量的機(jī)器可以處理未來通孔數(shù)量的增加。由于精細(xì)的通孔加工性能和高精度對準(zhǔn)性能,可以實(shí)現(xiàn) 40μm 或更小的凸塊間距。
規(guī)格
模型 | Exa-Ms5 |
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照明系統(tǒng) | 準(zhǔn)分子激光 |
解決 | Φ5微米 |
加工尺寸 | 70x70毫米 |
對位精度 | 3σ < 3.0 微米 |
電路板尺寸(最大) | 510x515毫米 |
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