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簡要描述：進(jìn)口HORIBA堀場 標(biāo)準(zhǔn)氣體分配器設(shè)備從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制保證高精度1秒內(nèi)高速響應(yīng)全量程（T98） 尺寸緊湊，
產(chǎn)品型號：SGD-SC-5L廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-08-07訪 問 量：146進(jìn)口HORIBA堀場 標(biāo)準(zhǔn)氣體分配器設(shè)備
進(jìn)口HORIBA堀場 標(biāo)準(zhǔn)氣體分配器設(shè)備
在整個流量范圍內(nèi)（上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值）響應(yīng)時間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進(jìn)的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優(yōu)化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應(yīng)
級別，
尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結(jié)構(gòu)，盡管其尺寸最小，但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。
低真空（高壓）操作
當(dāng)測量總壓力高達(dá) 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。
用戶可更換的傳感器
校準(zhǔn)過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換，無需拆卸設(shè)備。
一臺安裝了專用通信
軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的，可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。
這是質(zhì)量流量計(jì)專用的監(jiān)控單元。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
規(guī)格
流量報警輸出功能 外部輸出：集電極開路
流量信號輸出：0~5VDC
流量顯示輸出功能
輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX
尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）
適用標(biāo)準(zhǔn) 安全標(biāo)準(zhǔn)：符合 CE 標(biāo)志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性：符合 RoHS 指令
兼容數(shù)字/模擬通信模型
顯示單元
這是一個以數(shù)字方式顯示流量和壓力信號（0 至 5VDC）的裝置。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
| 適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | 不銹鋼氟橡膠 |
| 生成流量 | 2～5升/分鐘 |
| 產(chǎn)生壓力 | max70kPaG（根據(jù)出口負(fù)載而變化） |
| 混合比例 | 0,20,40,60,80,100%FS(注) |
| 混合精度 | ±0.5%滿量程 |
| 重復(fù)性 | ±0.2%滿量程 |
| 響應(yīng)速度 | 10秒內(nèi) |
| 工作溫度 | 0～40℃ |
| 耗氣量 | 與生成流量相同 |
| 燃?xì)膺B接 | 外徑?6/內(nèi)徑?4鐵氟龍管件 |
| 重量 | 約2公斤 |
| 電源 | 不必要 |
| 適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | 不銹鋼氟橡膠 |
| 生成流量 | 0.2～0.5L/分鐘 |
| 產(chǎn)生壓力 | max70kPaG（根據(jù)出口負(fù)載而變化） |
| 混合比例 | 0,20,40,60,80,100%FS(注) |
| 混合精度 | ±0.5%滿量程 |
| 重復(fù)性 | ±0.2%滿量程 |
| 響應(yīng)速度 | 10秒內(nèi) |
| 工作溫度 | 0～40℃ |
| 耗氣量 | 與生成流量相同 |
| 燃?xì)膺B接 | 外徑?6/內(nèi)徑?4鐵氟龍管件 |
| 重量 | 約2公斤 |
| 電源 | 不必要 |
| 適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
|---|---|
| 生成流量 | 2-5L/min（取決于入口壓力） |
| 產(chǎn)生壓力 | max70kPaG（根據(jù)出口負(fù)載而變化） |
| 集中劃分 | 0,10,20,30,40,50,60,70,80,90,100%FS(注) |
| 分度精度 | ±0.5%滿量程 |
| 重復(fù)性 | 0.2%滿量程 |
| 拆分操作 | 手動的 |
| 響應(yīng)速度 | 10秒內(nèi) |
| 耗氣量 | 與生成流量相同 |
| 外形尺寸 | 寬150×高163×深145（寬200×高195×深175） |
| 重量 | 3.5公斤(5.5公斤) |
| 電源 | 不必要 |
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