簡(jiǎn)要描述:新款ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干真空泵UR600螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
新款ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干真空泵UR600
新款ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干真空泵UR600
特點(diǎn)
通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,進(jìn)行腐蝕。
采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。
目的
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
型號(hào) | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
機(jī)械增壓泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
最大 排氣速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | ||||||||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | ||||||||
最大排氣口壓力 (排出圧力) | 1.0~ 大氣壓 Pa | ||||||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
排氣口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
質(zhì)量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
電源 *2 | 三相 | 180~240 VAC/ 380~440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC (50/60 Hz) | |||||
電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
冷卻水一次壓力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
冷卻水出入口壓差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
冷卻水流量 | >5.0 L/min | ||||||||
吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 Mpa | |||||||
二次壓力 | 0.05~0.1 Mpa | ||||||||
N2吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
氣鎮(zhèn) | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM |
*1:請(qǐng)勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進(jìn)行連續(xù)運(yùn)
* 沒有登載規(guī)格一覽表上的UR系列請(qǐng)另行確認(rèn)
■運(yùn)轉(zhuǎn)方式
干式真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)方式 | 1 | 2 | 3 | |||||
N2 流量 | SLM | 0 | 5 | 5~50*1 |
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