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新款ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干真空泵UR600

簡(jiǎn)要描述:新款ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干真空泵UR600
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):UR1200
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-10
  • 訪  問  量:103
詳情介紹

新款ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干真空泵UR600

新款ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干真空泵UR600

特點(diǎn)

通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

規(guī)格

型號(hào)UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機(jī)械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度
50Hz410 m3/h
(6833 L/min)
653 m3/h
(10883 L/min)
1012 m3/h
(16867 L/min)
1701 m3/h
(28350 L/min)
2700 m3/h
(45000 L/min)
到達(dá)壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力
(排出圧力)
1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa
N2吹掃5 SLM
氣鎮(zhèn)0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1:請(qǐng)勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進(jìn)行連續(xù)運(yùn)
* 沒有登載規(guī)格一覽表上的UR系列請(qǐng)另行確認(rèn)



■運(yùn)轉(zhuǎn)方式

干式真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)方式123
N流量SLM055~50*1


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