簡要描述:進口ULVAC愛發(fā)科大排氣量多級羅茨干泵RDA 系列 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
進口ULVAC愛發(fā)科大排氣量多級羅茨干泵RDA 系列
進口ULVAC愛發(fā)科大排氣量多級羅茨干泵RDA 系列
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
當使用干泵時可選配,用于降低排氣噪音。
特點
大氣壓附近的排氣速度高,可以縮短排氣時間。
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低
配有專用的消音器
極限壓力下的噪音水平為61 dB(A)或更低
無需先前所需要的軸封氣體
※L型可以使用稀釋氣體。
排氣速度120-1200 m3 / h級 ※可與機械增壓泵結合使用
可以根據應用選擇最佳排氣能力的型號
得點
出色的消音效果
可以通過卡箍連接到泵的排氣口
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1 粉末和生成物吸入會導致泵損壞。
請使用吸氣阱。
2 吸入有害氣體如爆炸性氣體, 有毒氣體,腐蝕性氣體,有機溶劑氣體等,可能會因氣體本身,爆炸或火災而導致泵故障。
3 僅供室內使用
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。
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