簡要描述:總經(jīng)銷ULVAC愛發(fā)科 離子泵控制器PST系列用控制器 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
總經(jīng)銷ULVAC愛發(fā)科 離子泵控制器PST系列用控制器
總經(jīng)銷ULVAC愛發(fā)科 離子泵控制器PST系列用控制器
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
特點(diǎn)
安裝方向自由
安裝方向沒有限制,擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運(yùn)行時以及泵停止時,碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>
用途
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實驗設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
可連接泵 | Actor 泵(PST 系列所有型號) | |
工作壓力 | 10 -2 至 10 -4 Pa 或更低 | |
顯示范圍 | 顯示方式 | 數(shù)字顯示(7段LED) |
顯示內(nèi)容 | ||
a)輸出電流顯示 | 自動選擇2個量程:mA、μA(線性顯示) | |
b)輸出電壓顯示 | 0.0 至 7.5 kV (H 或 L)(1 量程線性顯示) | |
c)壓力顯示 | Pa、mbr (1×10 -8~1×10 -2 Pa) (1×10 -10~ 1×10 -4 mbar) | |
輸出釋放電壓 | DC+7.5kV (2 點(diǎn),高和低,可使用前面板開關(guān)選擇;高/低壓設(shè)置可使用微調(diào)器在約 1.0 至 7.5kV 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)) | |
輸出電流 | 小于DC31mA | |
輸入電壓/電流 | AC100~115V±10% ? 50/60Hz~3.0A AC200~240V±10% ? 50/60Hz~1.5A | |
MONITOR端子輸出信號 | 信號輸出與7段面板顯示成比例,每個范圍DC 0至10V滿量程,超過100kΩ | |
壓力設(shè)定點(diǎn) | 2 分 | |
遠(yuǎn)程/本地 | 可通過面板開關(guān)選擇 | |
外部控制功能 | 配備各種輸入/輸出功能(配備 REMOTE 連接器)(遠(yuǎn)程、RS-232C 通信控制) | |
保護(hù)功能 | 錯誤顯示/提供各種保護(hù)功能 高壓(HV)輸出關(guān)閉 ERR 0 至 5 亮 啟動保護(hù)定時器設(shè)置(1 至 255 分鐘可調(diào)) 斷電后自動保留(HV 保持開關(guān)操作) | |
環(huán)境工作條件 | 溫度 | 0~40℃ |
濕度 | 小于85%(無結(jié)露) | |
配件 | 輸出電纜(5m)、輸入電纜(3m) | |
重量 | 主機(jī):約4kg,電纜:約1.0kg(標(biāo)準(zhǔn)) | |
尺寸(寬 x 高 x 深) | 240 x 99 x 370 毫米 {200 x 99 x 370 毫米(不包括機(jī)架安裝支架)} |
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