簡要描述:全新進口ULVAC愛發(fā)科 輕量緊湊低溫泵設(shè)備 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
全新進口ULVAC愛發(fā)科 輕量緊湊低溫泵設(shè)備
全新進口ULVAC愛發(fā)科 輕量緊湊低溫泵設(shè)備
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制,擴展了設(shè)備設(shè)計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時,碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實驗設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
排氣速度(20℃) | 氮 | L/s | 1,700 |
氫 | 2,700 | ||
氬 | 1,400 | ||
水 | 4,000 | ||
極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
最大流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
氫 | 2.4×102(1.8) | ||
排氣容量 | 氬 | Pa?L(Torr?L) | 1.0×108(7.6×105) |
氫 | 1.0×106(7.6×103) | ||
冷卻下降時間(動力循環(huán)) | min(Hz) | 100/90(50/60) | |
吸氣口法蘭 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
壓縮機組 | C10T,C10AT | ||
重量 | Kg | 20.8 |
*維護周期:16,000小時
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