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簡要描述：ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
產(chǎn)品型號：全新進(jìn)口廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-08-27訪 問 量：94ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元
ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元
操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
真空防潮箱由真空泵制造商提供。
傳感器規(guī)格：如果需要壓力
·空白計劃降低
·控制板空間節(jié)省
·配線簡化
確定子更換眼睛
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個使用的測量組件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以輸出2個設(shè)定點(diǎn)
SP1：壓力為0至5 V輸出（非輸出）
電源電壓：24 VDC輸入
用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
| 類型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準(zhǔn)確性 | ±15 %（51帕～760帕） |
| ±30 %（10帕～1000帕） | |
| ±50 %（0.4帕～3000帕） | |
| 工作溫度范圍 | 10～40℃ |
| 測量值輸出 | 非線性輸出：0至5VDC（最大10V） |
| 設(shè)定點(diǎn) 1/2 壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器 | 非線性輸出：0至5VDC（最大10V） |
| 控制輸出信號 | 開路集電極輸出，負(fù)邏輯 |
| 錯誤信號 | |
| 設(shè)定點(diǎn) 1/2 | |
| LED 顯示屏 | 電源、錯誤、設(shè)定點(diǎn) 1、設(shè)定點(diǎn) 2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V, 90mA（最大） |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6螺絲） |
| 重量 | 190g /0.41lb（不包括傳感器頭） |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 輸入/輸出連接器 1個 |
| 快速手冊 1本 |
IO和模擬GND與電源GND不隔離。
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