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簡要描述：ULVAC愛發(fā)科 通用型炎熱電離真空計(jì)轉(zhuǎn)氨酶 AxTRAN 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
產(chǎn)品型號：日本原廠 ISX2廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-08-27訪 問 量：84ULVAC愛發(fā)科 通用型炎熱電離真空計(jì)轉(zhuǎn)氨酶 AxTRAN
ULVAC愛發(fā)科 通用型炎熱電離真空計(jì)轉(zhuǎn)氨酶 AxTRAN
操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計(jì)（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計(jì)的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí)）。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量
用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
AxTRAN是在離子源和離子收集器之間配置了Bessel-Box型能量過濾器的熱陰極電離真空計(jì)。
由于降低了軟X射線，ESD離子等的剩余電流，實(shí)現(xiàn)了0.5×10 -10 Pa的測定分辨率。
可以測量10 -11 Pa
可以減少諸如軟X射線和ESD離子之類的剩余電流
測量區(qū)域廣1×10 -2～0.5×10 -10 Pa
標(biāo)準(zhǔn)壓力0～10V模擬日志輸出/每個(gè)數(shù)字內(nèi)1V線性輸出
可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
BCD/RS232C(可選)
用于真空設(shè)備，如高能加速器壓力測量
用于超高、超高真空設(shè)備的壓力測量
| 模型 | ISX2 |
| 可測壓力范圍 | 5×10 -11至 1×10 -2 Pa (3.75×10 -13至 7.5×10 -5 Torr, 5×10 -13至 1×10 -4 mbar) |
| 測量分辨率 | 0.5×10 -10 Pa（0.375×10 -12托，0.5×10 -12毫巴） |
| 展示 | 數(shù)字顯示，3位尾數(shù)，2位指數(shù) |
| 脫氣 | 電子激發(fā)解吸式 |
| 測量值輸出 | 線性輸出 0 至 10 VDC |
| 偽對數(shù)輸出 0 至 10V（每位 1V 線性信號） | |
| 設(shè)定點(diǎn) | 2 分 |
| 工作溫度范圍 | 10 至 40?C（50 至 104?F） |
| 工作濕度范圍 | 15～80％（無結(jié)露） |
| 電源電壓 | AC85至240V |
| 外形尺寸 寬×深×高 | 240毫米×350毫米×99毫米 |
| 重量 | 5.3公斤 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | AC100V（3P帶地線插頭）電源線，說明書 |
| 選項(xiàng) | 傳感器：X-11 |
| 傳感器電纜：5、10、20m | |
| BCD輸出，RS232C/485 |
| 兼容傳感器頭 | X-11 |
| 能量過濾器 | 貝塞爾盒型 |
| 燈絲 | Ir?Y2O3 × 2 |
| 安裝法蘭 | UFC-070 |
| 最高烘烤溫度 | 300℃ (572?F) 無傳感器電纜 |
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