簡(jiǎn)要描述:ULVAC愛(ài)發(fā)科 冷陰極電離真空計(jì) SC1-N 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專(zhuān)為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
ULVAC愛(ài)發(fā)科 冷陰極電離真空計(jì) SC1-N
ULVAC愛(ài)發(fā)科 冷陰極電離真空計(jì) SC1-N
操作性的提高:通過(guò)與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能:通過(guò)監(jiān)測(cè)燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測(cè)量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測(cè)定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺(tái)三極管金屬電離真空計(jì)(正在申請(qǐng)):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計(jì)的使用壽命也很長(zhǎng)。
壓力測(cè)量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測(cè)量大氣壓:可以檢查腔體的開(kāi)啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí))。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖?lèi))的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于需要降低測(cè)定子更換頻率的真空設(shè)備
測(cè)量部件和測(cè)量電路一體化集成
模擬輸出和設(shè)定點(diǎn)輸出
獨(dú)立的模擬日志輸出和設(shè)定點(diǎn)輸出(顯示單元)
采用DIN標(biāo)準(zhǔn)尺寸48 x 96 mm(顯示單元)
用于半導(dǎo)體,光學(xué)和電子零件制造的精密真空設(shè)備的壓力范圍內(nèi)的過(guò)程控制
低真空范圍的過(guò)程控制,適用于熔解爐等工業(yè)設(shè)備
具有多個(gè)工藝腔體的真空系統(tǒng)的壓力范圍內(nèi)的過(guò)程控制,例如in-line式濺射設(shè)備和晶圓制造設(shè)備
傳感器 單元 | 顯示單元 | 特征 | ||
數(shù)字 | 數(shù)字4CH | |||
皮拉尼真空計(jì) | SW1 SP1 | ISG1 | IM1R1 IM2R1 | ?10-2~10+5Pa ?價(jià)格低 |
熱的 陰極 真空計(jì) | SH2 | ?5x10-8~9.9x100Pa ?測(cè)量范圍廣 ?多離子真空計(jì)適用 | ||
冷 陰極 真空計(jì) | SC1 | ?5x10-5~1Pa ?低運(yùn)行成本 | ||
電容 壓力計(jì) | CCMT-D | DC15V DC24V | ?陶瓷隔膜規(guī)格 ?可以高精度測(cè)量低,中真空 | |
特征 | ?測(cè)定子一體型 ?類(lèi)似物輸出 ?設(shè)定點(diǎn)輸出 | ?DC24V適用 ?設(shè)定點(diǎn)3點(diǎn) ?查看方便LED | ?4CH同時(shí)表示 ?設(shè)定點(diǎn)8點(diǎn) ?節(jié)省空間 |
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