簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 陶瓷隔膜真空計(jì) CCMT-1000D 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
ULVAC愛發(fā)科 陶瓷隔膜真空計(jì) CCMT-1000D
ULVAC愛發(fā)科 陶瓷隔膜真空計(jì) CCMT-1000D
操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計(jì)(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計(jì)的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時)。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
長期穩(wěn)定
使用陶瓷膜,具有優(yōu)異的耐腐蝕性
內(nèi)置式溫度補(bǔ)償回路
采用新結(jié)構(gòu)保護(hù)傳感器結(jié)構(gòu)
可以通過按鈕進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整
用于成膜設(shè)備工藝中的壓力監(jiān)控
用于真空溶解、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)控
用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)控
模型 | 中科大 | ||
滿量程 | CCMT-1000D | 133kPa(1×10 3托,1.33×10 3毫巴)滿量程 | |
CCMT-100D | 13.3kPa(1×10 2托,1.33×10 2毫巴)滿量程 | ||
CCMT-10D | 1.33kPa(10托,13.3毫巴)滿量程 | ||
CCMT-1D | 133Pa(1 托,1.33 毫巴)滿量程 | ||
解決 | 滿量程的 0.003% | ||
準(zhǔn)確度*1 | ±0.2%±相對示值的溫度系數(shù)(該值表示精度零點(diǎn)調(diào)整) | ||
溫度系數(shù) | 零電壓 | 0.015 %滿量程/℃ | |
跨度電壓 | 0.01% 電阻/℃ | ||
工作溫度范圍 | 10 至 50℃(50 至 122 °F) | ||
回應(yīng)率 | 30毫秒或更短 | ||
氣體接觸段材質(zhì) | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3、玻璃陶瓷焊料、Ag Ti Cu硬焊料 | ||
輸入功率 | DC14~30V,1W | ||
輸出 | DC 0 至 10V 滿量程 | ||
重量 | 329克 | ||
方面 | 55毫米×117毫米 | ||
溫度補(bǔ)償 | 內(nèi)部溫度補(bǔ)償電路 | ||
電連接器 | D-sub 15 針公頭(No.4-40,DNC 螺絲) |
*1 :非線性、滯后、重復(fù)性在 25℃ (77℉) 環(huán)境工作溫度下,運(yùn)行 2 小時后無溫度影響,調(diào)零后
*2 : 28% Ni、23% Co、49% Fe
*3 : 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
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