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簡要描述：ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
產(chǎn)品型號：新產(chǎn)品廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-08-27訪 問 量：171ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G
ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
水晶式成膜控制器
CRTM 系列
愛發(fā)科
優(yōu)異的膜厚和成膜速率分辨率，在成膜速率低時也可以進行控制
125 ms的快速采樣率可以很好地控制
可實現(xiàn)樓層膜厚控制，最高達到99層
標準配有RS232C通信
最多可連接2個單傳感器（可切換）
配備最少數(shù)字輸入/輸出（各12ch）和模擬輸出（3ch）
蒸發(fā)時的膜厚及速率控制
| 膜厚/速率分辨率 | 0.041A（5兆赫） 0.029A（6兆赫） |
| 膜厚顯示范圍/顯示分辨率/td> | 0.000～99.99μm(0.000～999.9k?) |
| 沉積率顯示范圍/顯示分辨率 | 0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 ?/s) |
| 支持的傳感器頻率 | 5兆赫、6兆赫 |
| 可連接的傳感器數(shù)量 | 單傳感器：2個（不能同時測量，為開關(guān)型） 多傳感器：1個 |
| 采樣率 | 125毫秒 |
| 支持多層膜層數(shù) | 99 層 |
| 沉積程序數(shù)量 | 99 |
| 數(shù)字輸入/輸出 | 輸入：12通道可編程 輸出：12通道可編程 |
| 模擬輸出 | 3通道可編程 |
| 外形尺寸 寬×深×高 | 240 毫米 x 350 毫米 x 99 毫米 |
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