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INTECS英特斯 晶圓截面形狀測定裝置燈 WEMS 高強度鹵素光源裝置 是一種宏觀觀察照明裝置，用于檢測 最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧霾、滑移等，是整個加工過程中勞動強度最大的部分。半導體晶片和液晶基板的加工 。